甘肃离子束清洗射频离子源生产厂家

    本申请中涉及的一种射频离子源离子束束径控制装置具体包括一真空腔体5、控制器6以及设于真空腔体5中的离子束发生器7、束径约束器0和驱动器8，该束径约束器0即采用叶片2进行光阑3大小调整的束径约束器0，该束径约束器0设置在离子束发生器7前端，驱动器8与束径约束器0的驱动机构相连以控制驱动机构动作，控制器6分别与束径约束器0及驱动器8相连。本实施例中，真空腔体5的真空度×10-3pa以上，驱动器8为微型电机，离子束发生器7包括离子束发生器外壁71以及位于离子束发生器外壁71内并位于离子束前端的平面栅网72，控制器6为计算机，在计算机中编写matlab控制代码，通过代码程序执行，微型电机启动，并控制驱动机构动作，也即对伺服电机45进行控制，伺服电机45使用绝对式编码器进行定位，伺服电机45驱动齿轮44转动并通过齿圈43带动滑环41旋转，滑环41旋转时，通过导槽42带动叶片2绕固定轴23转动，从而使叶片2的尾端22相交组成的光阑3的孔径大小发生变化，也即实现离子束束径的调节，**后将光阑3的孔径大小信息反馈给计算机。束径约束器0采用附图中的设置方向时，滑环41顺时针旋转时，光阑3孔径减小，滑环41逆时针旋转时，光阑3孔径变大。真空镀膜机故障解决方法？甘肃离子束清洗射频离子源生产厂家

【真空镀膜机真空检漏方法普及之荧光检漏法】荧光检漏法首先需要将荧光材料溶于如丙tong等一些浸润性能好、易于挥发的有机溶剂中，使之成为饱和溶液；然后将被检的真空部件外表面浸泡到溶液中或涂抹到部件表面，这一过程中，为了提升效果、缩短浸泡时间，可以在抽真空或者加压条件下对其进行浸泡。如果存在漏孔，荧光剂溶液会因毛细作用渗入到其中；qing除表面多余的溶液，待有机溶剂挥发后，荧光材料便会在漏孔中残留下来；此时再用紫外线灯光照射，漏孔位置就会观察到明显的荧光点。在进行紫外光源照射时，对于一些存在盲孔、表面不平的器件，可能也会存在残留荧光材料，因此玻璃真空器件好在背面进行照射观察；为了提高对比度也可以采用滤光放da镜，过滤掉紫外线以外的其他光线，来获得更佳的观察效果；而在荧光材料的选择时要注意其发光颜色和被检真空部件的颜色要有明显的反差。荧光检漏法不仅用于真空系统检漏中，而且也被用于铸件、模压金属件以及焊接件的裂纹检查等。甘肃离子束清洗射频离子源生产厂家真空镀膜机真空度多少？

【真空镀膜技术专业词汇】真空镀膜vacuumcoating：在处于真空下的基片上制取膜层的一种方法。基片substrate：膜层承受体。试验基片testingsubstrate：在镀膜开始、镀膜过程中或镀膜结束后用作测量和（或）试验的基片。镀膜材料coatingmaterial：用来制取膜层的原材料。蒸发材料evaporationmaterial：在真空蒸发中用来蒸发的镀膜材料。溅射材料sputteringmaterial：有真空溅射中用来溅射的镀膜材料。膜层材料(膜层材质)filmmaterial：组成膜层的材料。蒸发速率evaporationrate：在给定时间间隔内,蒸发出来的材料量,除以该时间间隔溅射速率sputteringrate：在给定时间间隔内,溅射出来的材料量,除以该时间间隔。沉积速率depositionrate：在给定时间间隔内,沉积在基片上的材料量,除以该时间间隔和基片表面积。镀膜角度coatingangle：入射到基片上的粒子方向与被镀表面法线之间的夹角。

【真空镀膜机镀塑料件时抽真空时间过长是什么原因？】(1)真空室有漏气现象：da家都知道，真空蒸发镀膜机是的基本条件是工件在真空状态下才能进行镀膜加工的，若真空室有漏气现象而没有经过检漏找出漏气位置，则真空镀很长时间都不能抽得上来的；(2)即使真空室没有漏气，因为塑料产品的放气量da，所以抽真空，特别是高真空很难达到。真空室内太脏放气，而且由于塑料产品的放气，造成真空室内镀膜气体的不纯，有杂气的存在，造成镀膜产品的颜色发暗，发黄，发黑等。（3）也许是真空机组的抽气能力不够了，油被污染或氧化了。（4）真空室有漏水。（5）抽空管道有漏气。射频离子源，实现高精度镀膜。

    本发明的优点在于：本申请的束径约束器通过驱动组件驱动滑环旋转，以使叶片转动来进行光阑的大小调节，调节方便且调节精度高；而采用包含该束径约束器的束径控制装置进行束径调节时，通过在控制器上输入离子束束径值即可实现光阑大小的调节，无需关闭离子源和打开真空腔体，调节效率高、自动化程度好。附图说明图1为现有技术中采用曲面栅网调节束径的结构示意图。图2为本申请中离子束采用平面栅网的结构示意图。图3为本申请中束径约束器结构示意图。图4为图3的示意图。图5为为图4的进一步示意图。图6为本申请中的叶片结构示意图。图7为本申请中的束径控制装置的示意图。具体实施方式下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，*用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。如图3至6所示为本申请的束径约束器的结构示意图，如图所示，该射频离子源离子束束径约束器，包括底座1、多个叶片2及驱动机构，底座1上设置有可供离子束穿过的中空结构11，多个叶片2设于底座1一端并环绕底座1的中空结构11呈圆周排布。真空镀膜机的应用领域。河南真空镀膜射频离子源

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【真空镀膜机电控柜的操作】1、玻璃真空镀膜机开水泵、气源2、开总电源3、开维持泵、真空计电源，真空计档位置V1位置，等待其值小于10后，再进入下一步操作。约需5分钟。4、开机械泵、予抽，开涡轮分子泵电源、启动，真空计开关换到V2位置，抽到小于2为止，约需20分钟。5、观察涡轮分子泵读数到达250以后，关予抽，开前机和高阀继续抽真空，抽真空到达一定程度后才能开右边的高真空表头，观察真空度。真空到达2×10-3以后才能开电子qiang电源。甘肃离子束清洗射频离子源生产厂家